Metrology – Tools at a glance
Metrology field
| Mesure Epaisseur | taille échantillon | Précision | 3D | Contact | Nombre de couche | Mesure : Mini / maxi | Temps moyen d'une mesure |
| Ellipsometre | > 1 cm , 6 pouce < | ± 4 Å | oui | sans | > 1 |
1 nm / transparent ? max 50nm (métaux) |
10 min |
| Reflectometre | > 1 cm , 4 pouce < | 0,1nm | non | sans | 1 |
10 nm à 70µm (transparent) max 20 nm (métaux) |
2 min |
|
(BCAI) |
> 1 cm | 1 nm | oui | oui | 1 |
90µx90µ épaisseur 9,5µ max |
45 minutes |
| Profilometre | > 1 cm | 1 Å | non | oui | 1 | 10 nm à 1 mm | 2 minutes |
| Mesure Dimension | taille échantillon | Précision | 3D | Contact | Temps moyen d'une mesure |
| MEB | >1 mm , 4 pouce < | 1 nm | non | non | 30 min |
| AFM (BCAI) | > 1 cm | 1 nm | oui | oui | 45 min |
| Microscope | > 0,5 mm | >300 nm Selon l’objectif | non | non | 2 min |
| Détection Matériaux | taille échantillon | Plage de détection | Puissance | Diaphragme |
| EDX (MEB bat 1005) | >1 mm , 4 pouce < | Bore (5) à Américium (95) | 3 à 20 Kw | 10 à 240µm |
| Mesure Electrique | taille échantillon | Résistivité de la plaque |
| >2 à 6 pouce < | 4,19x10-2 m W -cm à 17,1 K W -cm |