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Metrologie – K575X Sputter Coater

Equipement:  : Metrologie
Vide : 1x10-3 , 1x10-4 mbar

Oo / Palladium (Au/Pd) (60:40 mix)

Gaz: Ar
Métalliseur MEB . Dépot  épaisseur entre 3 à 8 nm
 
Contact : guillaume.gay@cea.fr

Contact : christophe.lemonias@cea.fr

 

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