Metrologie – K575X Sputter Coater
Equipement: : Metrologie
Vide : 1x10-3 , 1x10-4 mbar
Oo / Palladium (Au/Pd) (60:40 mix)
Gaz: Ar
Métalliseur MEB . Dépot épaisseur entre 3 à 8 nm
Contact : guillaume.gay@cea.fr
Contact : christophe.lemonias@cea.fr
