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Guillaume GAY

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Metrology

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Metrology – K575X Sputter Coater

Technical description :
 
Equipement:  : Métrology
Vide : 1x10-3 , 1x10-4 mbar

Dépôt : Palladium (Au/Pd) (60:40 mix)

Gaz : Ar
Métalliseur MEB : Dépôt  épaisseur entre 3 à 8 nm

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