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Metrology – Tools at a glance

Metrology field

 

Mesure Epaisseur taille échantillon Précision 3D Contact Nombre de couche Mesure : Mini / maxi Temps moyen d'une mesure
Ellipsometre > 1 cm , 6 pouce < ± 4 Å oui sans > 1

1 nm / transparent ?

max 50nm (métaux)

10 min
Reflectometre > 1 cm , 4 pouce < 0,1nm non sans 1

10 nm à 70µm (transparent)

max 20 nm (métaux)

2 min

AFM

(BCAI)

> 1 cm 1 nm  oui oui 1

90µx90µ

épaisseur 9,5µ max

45 minutes
Profilometre > 1 cm 1 Å non oui 1 10 nm à 1 mm 2 minutes

 

 

Mesure Dimension taille échantillon Précision 3D Contact Temps moyen d'une mesure
MEB >1 mm , 4 pouce < 1 nm non non 30 min
AFM (BCAI) > 1 cm 1 nm  oui oui 45 min
Microscope > 0,5 mm >300 nm Selon l’objectif non non 2 min

 

Détection Matériaux taille échantillon Plage de détection Puissance Diaphragme
 EDX (MEB bat 1005) >1 mm , 4 pouce < Bore (5) à Américium (95) 3 à 20 Kw 10 à 240µm

 

Mesure Electrique taille échantillon Résistivité de la plaque

MEBTESTEUR 4 POINTES FPP-5000 (BCAI)

>2 à 6 pouce < 4,19x10-2 m W -cm à 17,1 K W -cm

 

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