En | Fr

Your technological partner

From proof of concept to small production

Home  PTA team members 

Stéphane LITAUDON

Stéphane LITAUDON - Resp. équipements (pôle gravure)

Function: Resp. équipements (pôle gravure)

Email: stephane.litaudon@minatec.grenoble-inp.fr

Phone: +33 (0)4 56 52 94 11


Responsible for facilities

HF vapour phase etcher (Primaxx Monarch3 from SPTS)

Etching : Deep RIE SPTS (SPX HRM 180)