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PTA team members

Guillaume GAY - Responsable zone dépôt
Irène PECK - Resp. équipements (pôle gravure)
Stéphane LITAUDON - Resp. équipements (pôle gravure)
Martine GRI - Resp. équipements (pôle lithographie)
Bruno GONZALES - Resp. équipements (pôle dépôt)
Christelle GOMEZ - Resp. équipements (pôle dépôt)
Délphine CONSTANTIN - Resp. équipements (pôle dépôt)
Valentine BOLCATO - Resp. équipements (pôle caractérisation)
Nathalie MARINI - Assistante administrative
Marlène TERRIER - Resp. équipements (pôle gravure)
Thierry CHEVOLLEAU - Responsable de la zone gravure
Jean-luc THOMASSIN - Resp. équipements (pôle lithographie)
Thomas CHARVOLIN - Resp. équipements (pôle gravure)
Nicolas CHAIX - Responsable zone lithogarphie
Frederic GUSTAVO - Responsable zone dépôt
Christophe LEMONIAS PETIT MARTENON - Resp. Equipement (pôle lithographie et caractérisation)
Corinne PERRET - Resp. équipements (zone dépôt)

Thierry CHEVOLLEAU

Thierry CHEVOLLEAU - Responsable de la zone gravure

Function: Responsable de la zone gravure

Email: thierry.chevolleau@cea.fr

Phone: 04 38 78 45 04


Responsible for facilities

Etching tools at a glance

Etching : CMP Alpsitec (E460C from Alpsitec)

Etching : IBE 01 Plassys (MU400 from Plassys)