Metrologie – Testeur 4 pointes FPP-5000

Description Technique

Taille du wafer : 100, 125, 150 mm. 2, 3 pouces

Calcul et affichage automatisés de la résistivité de la plaque ou du wafer, du rapport V/I, de l'épaisseur de la métallisation et du type P-N.

Gamme : 25 mW à 99,9K W

Résistivité de la plaque : 4,19x10-2 m W -cm à 17,1 K W -cm

Document :

Notice 4 Pointes

Contact : valentine.bolcato@grenoble-inp.fr