Metrology – Profilometre : KLA P7
Technical description
Description du produit
Le profileur de stylet de table Tencor P-7 s'appuie sur le succès du système de profilage de stylet de table Tencor P-17, leader sur le marché. Il intègre les performances de mesure supérieures de la technologie P-17 dans une plate-forme qui offre un excellent rapport prix/fonctionnalités pour un profileur de stylet de table. Le profileur à stylet Tencor P-7 prend en charge les mesures 2D et 3D des hauteurs de pas, de la rugosité, de l'arrondi et du stress pour des scans allant jusqu'à 150 mm sans piqûre.
Caractéristiques
Hauteur de pas : Nanomètres à 1000µm
Faible force avec contrôle de la force constante : 0,03 à 50 mg
Balayage de tout le diamètre de l'échantillon sans piqûre
Vidéo : Caméra couleur haute résolution de 5MP
Correction de l'arc : Supprime l'erreur due au mouvement en arc du stylet
Logiciel : Interface logicielle facile à utiliser
Capacité de production : Entièrement automatisé avec séquençage, reconnaissance des formes et SECS/GEM
Applications
Hauteur de marche : hauteur de marche 2D et 3D
Texture : rugosité et ondulation en 2D et 3D
Forme : arc et forme en 2D et 3D
Contrainte : Contrainte des couches minces en 2D et 3D
Examen des défauts : Topographie de la surface des défauts en 2D et 3D
Caractéristiques techniques
Profileur à stylet KLA Tencor P7
Taille du substrat de 3 x 3 mm jusqu'à 150 mm de diamètre 3 mm d'épaisseur
Rayon de 2 microns Pointe inclinée à 60 degrés de cône
Force constante du stylet de 0,5 à 50 mg
Longueur de balayage de 150 mm et plage Z de 1 mm
Résolution verticale 0,4 nm
Résolution horizontale maximale 25 nm
Platine à rotation manuelle
Numérisation 2D / 3D
Caméra de navigation optique vue de dessus Champ de vision de 2 x 1,2 mm
Applications / mesuresFilm mince / hauteur de marche des résistances
Film mince / hauteur de marche des résistances
Rugosité de surface
Document :