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Metrologie – K575X Sputter Coater

Description Technique
 
 
Equipement : Métrologie
Vide : 1x10-3 , 1x10-4 mbar

Dépôt : Palladium (Au/Pd) (60:40 mix)

Gaz : Ar
Métalliseur MEB : Dépot  épaisseur entre 3 à 8 nm

 

 

Information aux utilisateurs de la PTA

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