Métrologie – Ellipsometre Auto SE + SpecEl
Ellipsometre Auto SE
Description Technique :
Gamme spectrale : 440-1000 nm
Tailles de point : sélection automatique> 500μm; 500 x 500 μm; 250 x 500 μm; 250 x 250 μm; 70 x 250 μm; 100 x 100 μm; 50 x 60 μm; 25 x 60 μm
Détection : CCD - Résolution: 2 nm
Exemple de visionnage : caméra CCD - Champ de vision: 1.33 x 1 mm - Résolution: 10μm
Temps de mesure : 1 s
Précision : NIST 100 nm d ± 4 Å, n (632.8 nm) ± 0.002
Répétabilité : NIST 15 nm ± 0.2 Å
Ellipsometre SpecEl
Description Technique :
Epaisseur mesuré : 1 nm – 8 μm
Résolution épaisseur : 0,1 nm
n & k Analyse : Table 450 – 900 nm in 1 nm steps
Vitesse mesure : 5 - 15 seconds
Répétition : 70 nm SiO2 on Si, cos(Delta)
±0.0003, tan(Psi) ± 0.0002
Document :
Auto SE Ellipsometre-DeltaPsi2