Les équipement de la PTA en Métrologie
Métrologie - Vue d'ensemble
Equipements métrologiques :
2 Microscopes à balayage électronique ( Zeiss ultra +)
3 Microscopes optique (LEICA avec camera)
1 Ellipsomètre
2 Profilometres mécaniques
AFM
2 Microscopes à balayage électronique ( Zeiss ultra +)
3 Microscopes optique (LEICA avec camera)
1 Ellipsomètre
2 Profilometres mécaniques
AFM
Métrologie - MEB ZEISS ULTRA +
2 Microscopes à balayage électronique
MEB ZEISS ULTRA +
EDX (XFlash® detector 5030)
MEB ZEISS ULTRA +
EDX (XFlash® detector 5030)
Métrologie - Microscopes
Microscope Optique (LEICA avec camera digital)
Nous avons 3 microscope optique (DM6000 et DM2500 au Bat.1005 dans le CEA site et un DM2500 sur le site du BCAI) avec une camera DFC425
Nous avons 3 microscope optique (DM6000 et DM2500 au Bat.1005 dans le CEA site et un DM2500 sur le site du BCAI) avec une camera DFC425
Métrologie - Ellipsometre Auto SE + SpecEl
Auto SE
450nm to 1000nm : 450nm to 1000nm
Spectra resolution : Better than 3nm
SpecEI
Epaisseur mesuré : 1nm – 8μm
Résolution d'épaisseur : 0,1nm
n & k Analyse: Table 450 – 900 nm in 1nm steps
450nm to 1000nm : 450nm to 1000nm
Spectra resolution : Better than 3nm
SpecEI
Epaisseur mesuré : 1nm – 8μm
Résolution d'épaisseur : 0,1nm
n & k Analyse: Table 450 – 900 nm in 1nm steps
Metrologie – Nanocalc-vis
Nanocalc-VIS Wavelength 400-850 nm
Nanocalc XR Wavelength 250-1050 nm
Nanocalc XR Wavelength 250-1050 nm
Métrologie - DEKTAK
Profilometre: Mesure des marches (épaisseurs) , la résolution vertical est de 1Å
DEKTAK XT "E"
DEKTAK XT "E"
Metrologie - Testeur 4 pointes FPP-5000
Testeur 4 point FPP-5000
Metrologie - K575X Sputter Coater
Métalliseur MEB
Metrologie – AFM
AFM