Metrologie – K575X Sputter Coater
Description Technique
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Equipement : Métrologie
Vide : 1x10-3 , 1x10-4 mbar
Dépôt : Palladium (Au/Pd) (60:40 mix) Gaz : Ar
Métalliseur MEB : Dépot épaisseur entre 3 à 8 nm
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Equipement : Métrologie
Vide : 1x10-3 , 1x10-4 mbar
Dépôt : Palladium (Au/Pd) (60:40 mix) Gaz : Ar
Métalliseur MEB : Dépot épaisseur entre 3 à 8 nm
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