En | Fr

Partenaire de vos technologies

De la preuve de concept à la petite production

Home  Equipements  

Microwave STRIPPER (Pico µW PCCE 7 from DIENER)

Description technique :

Diener

 

  • Plasma aval par micro-ondes (2,45 GHz, 0-300W, 0.2Torr)
  • 2 lignes de gaz : O2, Ar
  • température ambiante , pas de refroidissement par eau
  • Taille et type d'échantillons : de petits échantillons à des plaquettes de 4 pouces.

 

 

Capacités du procédé :

 

  • Décapage de photo-résine (~120nm/min)
  • Résidus organiques
  • Activation des surfaces

Information aux utilisateurs de la PTA

Pour obtenir toute l'information sur cet équipement, Connectez-vous à l'espace utilsateur