Microwave STRIPPER (Pico µW PCCE 7 from DIENER)

Description technique :

• Plasma aval par micro-ondes (2,45 GHz, 0-300W, 0.2Torr)
• 2 lignes de gaz : O2, Ar
• température ambiante , pas de refroidissement par eau
• Taille et type d'échantillons : de petits échantillons à des plaquettes de 4 pouces.

Capacités du procédé :

• Décapage de photo-résine (~120nm/min)
• Résidus organiques
• Activation des surfaces