Lithographie – Vue d’ensemble

• Lithographique Electronique (100kV): resolution finale de 7 nm , petit échantillon au wafer 200 mm.

• Lithographique Nanoimpression : Lithographie de nanoimpression assistee par UV, avec thermal NIL, hot embossing, UV NIL

• Lithographie par contact, UV at DUV: petit échantillon au wafer 4"

• Lithographie Laser : résolution 1µ

• Lithographie optique (face avant et face arrière) : MA 8 et MA150