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De la preuve de concept à la petite production

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L'équipe PTA

Juliette MIGNOT - Lithographie
AURÉLIEN OLIVIER - Ingénieur de Recherche
Victor GAUDE - Ingenieur
Guillaume GAY - Responsable zone dépôt
Irène PECK - Resp. équipements (pôle gravure)
Stéphane LITAUDON - Resp. équipements (pôle gravure)
Martine GRI - Resp. équipements (pôle lithographie)
Bruno GONZALES - Resp. équipements (pôle dépôt)
Christelle GOMEZ - Resp. équipements (pôle dépôt)
Délphine CONSTANTIN - Resp. équipements (pôle dépôt)
Valentine BOLCATO - Resp. équipements (pôle caractérisation)
Nathalie MARINI - Assistante administrative
Marlène TERRIER - Resp. équipements (pôle gravure)
Sylvain DAVID - Responsable PTA
Jean-luc THOMASSIN - Resp. équipements (pôle lithographie)
Thomas CHARVOLIN - Resp. équipements (pôle gravure)
Nicolas CHAIX - Responsable zone lithographie
Christophe LEMONIAS PETIT MARTENON - Resp. Equipement (pôle lithographie et caractérisation)
Corinne PERRET - Resp. équipements (zone dépôt)

Stéphane LITAUDON

Stéphane LITAUDON - Resp. équipements (pôle gravure)

Fonction : Resp. équipements (pôle gravure)

Email : stephane.litaudon@grenoble-inp.fr

Téléphone : +33 (0)4 56 52 94 11


Responsable des équipements

HF vapour phase etcher (Primaxx Monarch3 from SPTS)

Etching : Deep RIE SPTS (SPX HRM 180)