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Stéphane LITAUDON

Stéphane LITAUDON - Resp. Equipement (Gravure)

Fonction : Resp. Equipement (Gravure)

Email : stephane.litaudon@grenoble-inp.fr

Téléphone : +33 (0)4 56 52 91 33


Responsable des équipements

HF vapour phase etcher (Primaxx Monarch3 from SPTS)

Etching : Deep RIE SPTS (SPX HRM 180)