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PTA team members

Irène PECK - Resp. équipements (pôle gravure)
Stéphane LITAUDON - Resp. équipements (pôle gravure)
Martine GRI - Resp. équipements (pôle lithographie)
Bruno GONZALES - Resp. équipements (pôle dépôt)
Christelle GOMEZ - Resp. équipements (pôle dépôt)
Délphine CONSTANTIN - Resp. équipements (pôle dépôt)
Valentine BOLCATO - Resp. équipements (pôle caractérisation)
Nathalie MARINI - Assistante administrative
Marlène TERRIER - Resp. équipements (pôle gravure)
Thierry CHEVOLLEAU - Responsable de la zone gravure
Jean-luc THOMASSIN - Resp. équipements (pôle lithographie)
Thomas CHARVOLIN - Resp. équipements (pôle gravure)
Nicolas CHAIX - Responsable zone lithogarphie
Frederic GUSTAVO - Responsable zone dépôt
Christophe LEMONIAS PETIT MARTENON - Resp. Equipement (pôle lithographie et caractérisation)
Corinne PERRET - Resp. équipements (zone dépôt)

Marlène TERRIER

Marlène TERRIER - Resp. équipements (pôle gravure)

Function: Resp. équipements (pôle gravure)

Email: marlene.terrier@cea.fr

Phone: +33 (0)4 38 78 46 91


Responsible for facilities

Microwave STRIPPER (Pico µW PCCE 7 from DIENER)

Etching : ICP STS (STS multiplex from SPTS)